伺服閥驅動器

單片光罩盒 / 光罩出貨盒 / 光罩儲存盒 / 光罩載具，避免光罩遭受外部微塵粒子及化學污染，避免光罩受到靜電損害，接觸面積小，光罩儲存盒容易堆疊，提供5吋光罩在運輸與儲存時的安全防護。